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高速・高精度 汎用加工タイプ
XYZ軸ストローク(mm)
最大加工物質量(kg)
主軸回転速度(min-1)
520 × 420 × 300
200
0~24,000
超高精度 微細加工タイプ
XYZ軸ストローク(mm)
最大加工物質量(kg)
主軸回転速度(min-1)
420 × 350 × 200
100
1500 ~ 60000
650 × 550 × 300
300
1500 ~ 60000
超精密 微細加工 ナノマシニングセンタ
XYZ軸ストローク(mm)
最大加工物質量(kg)
主軸回転速度(min-1)
300 × 250 × 100
5000
20,000~ 120,000